臭氧(O3)主要存在于距地球表面20千米的同温层下部的臭氧层中，含量约50ppm。氧气的同素异形体，在常温下，它是一种有特殊臭味的淡蓝色气体。吸收对人体有害的短波紫外线，防止其到达地球，以屏蔽地球表面生物，不受紫外线侵害。
臭氧检测仪采用紫外光度法测臭氧原理，当空气样品以恒定的流速进入仪器的气路系统，样品空气交替地或直接进入吸收池或经 过臭氧涤去器再进入吸收池，臭氧对254nm 波长的紫外光有特征吸收，零空气样品，通过吸 收池时被光检测器检测的光强度为I0.臭氧样品通过吸收池时被光检测器检测的光强度为I， I/I0 为透光率。每经过一个循环周期，仪器的微处理系统根据朗伯—比耳定律求出臭氧的浓度